潔凈室是一個將一定空間范圍內的空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內的溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。  

　　由此，我們可知構成潔凈室須俱備以下各項因素：  

1 .能除去空氣中飄游之微塵粒子。 

2 .能防止微塵粒子之產生。 

3 .溫度和濕度之控制。 

4 .壓力之調節。 

5 .有害氣體之排除。 

6 .結構物與隔間之氣密性。 

7 .靜電之防制。 

8 .電磁干擾之預防。 

9 .安全因素之考慮。 

10.節能之考量。 

　　FFU凈化單元采用初、高效兩級過濾網。風機從FFU頂部將空氣吸入并經初高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均速送出。FFU可模塊式連接使用,使得FFU廣泛應用潔凈室,潔凈工作臺、潔凈生產潔凈工作臺是一種提供局部無塵無菌工作環境的垂直單向流型空氣凈化設備。它對改善工藝條件、證產品高精度、高純度和高可靠性具有良好的效果

　　FFU凈化單元在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。當前其改進主要是：

（1）取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內；

（2）動機采用DC/EC（電子整流電機），以耗較原交流電機節約近50%，因為小風機所用小容量（功率<1P）的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機的效率可達75%～80%；在調速控制上可每臺單獨的以過濾器降壓進行控制以節約能耗，但目前投資回收期尚長而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。

（3）但FFU凈化單元出口靜壓不能過大，一般采用出口風速0.38m/s，此時其靜壓一般在250Pa以內。

FFU凈化單元回風系統與其他方式相比的優點 

優點：

（1）靈活性大，便于改造；

（2）占用建筑物空間較少；

（3）潔凈凈室內空氣壓力大于回風靜壓室，排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。

缺點：

（1）要求回風道全部阻力（包括多孔地板、格柵及風道）、干表冷器阻力及末級過濾器的阻力（在初阻力時），總共應控制在165Pa左右，以滿足運行時最大阻力在250Pa以內。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風道阻力在15Pa以內，否則就需要再增設加壓風機系統，這就是降低了FFU系統的綜合優點。

(2)采用DC/EC電機后，單位風量的能耗可能比當前一般大型離心風機的集中系統為低，但已有研究指出，比采用改進后的大型軸流風機的回風系統的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其系統的阻力降低的因素。

(3）一般FFU凈化單元系統由于單位風量的能耗較大，因此潔凈室的冷負荷亦相應增加。

具體情況下的評價

(1)FFU凈化單元用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經濟性一般往往可取。

(2）潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統采用FFU，當前還是不經濟的；對小系統有意義作具體比較。

(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多，但對IC工廠而言，FFU系統的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統已經普遍。